[发明专利]一种检测装置、检测方法和摩擦取向设备在审
| 申请号： | 201410804170.5 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN104407457A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤;孙国防 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测装置、检测方法和摩擦取向设备。该检测装置包括超声检测单元和处理单元，超声检测单元用于向配向沟槽发射超声波信号并接收从配向沟槽反馈的超声波信号；处理单元用于根据配向沟槽反馈的超声波信号计算获得配向沟槽的表面高度值和/或弹性模量。该检测装置通过设置超声检测单元和处理单元，能够对配向沟槽的表面高度值和/或弹性模量进行更加精确的检测，从而能够实现对配向沟槽存在缺陷的精确检测，还能提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 方法 摩擦 取向 设备 | ||
【主权项】：
一种检测装置，用于对形成在取向膜层上的配向沟槽进行检测，其特征在于，包括超声检测单元和处理单元，所述超声检测单元用于向所述配向沟槽发射超声波信号并接收从所述配向沟槽反馈的超声波信号；所述处理单元用于根据所述配向沟槽反馈的所述超声波信号计算获得所述配向沟槽的表面高度值和/或弹性模量。
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