[发明专利]一种石英振荡器真空溅射镀膜装置在审
| 申请号： | 201410804202.1 | 申请日： | 2014-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN105763165A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 王栋;李新生;张浩 | 申请（专利权）人： | 西安鸿腾信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英振荡器真空溅射镀膜装置，包括底板、溅射夹具和多块掩膜板，溅射夹具安装在底板上，溅射夹具包括单边卡槽和双边卡槽，双边卡槽设置在两个所述单边卡槽之间，两个所述掩膜板分别嵌入所述双边卡槽与两个单边卡槽之间，掩膜板包括上框架、下框架、上掩膜板和下掩膜板，上掩膜板由所述上框架固定，下掩膜板由所述下框架固定，石英晶片放置在所述上掩膜板和所述下掩膜板之间。本发明为一种石英振荡器真空溅射镀膜装置，采用两片掩膜板插入溅射，同一片掩膜板上镀膜厚度更加均匀，并且能够提高材料利用率，降低了生产成本，具有推广使用的价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 振荡器 真空 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种石英振荡器真空溅射镀膜装置，包括底板、溅射夹具和多块掩膜板，所述溅射夹具安装在所述底板上，其特征在于：所述溅射夹具包括单边卡槽和双边卡槽，所述双边卡槽设置在两个所述单边卡槽之间，两个所述掩膜板分别嵌入所述双边卡槽与两个所述单边卡槽之间。
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