[发明专利]冷阴极电子枪电磁控制系统及其控制方法有效
| 申请号： | 201410804403.1 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104635617A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 许海鹰;韩瑞清;左从进;锁红波;陈哲源;付鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种冷阴极电子枪电磁控制系统及其控制方法，该系统包括：沿电子枪轴线自上而下依次安装的第一消像线圈、上聚焦线圈、第二消像线圈、下聚焦线圈和偏转扫描线圈；第一消像线圈驱动电源、上聚焦线圈驱动电源、第二消像线圈驱动电源、下聚焦线圈驱动电源、偏转扫描线圈驱动电源、电子束能量分布控制电路。本发明提供的技术方案可使设定扫描区域内不同位置扫描点的电子束能密度保持一致进行扫描，提高了电子束流品质，使得电子枪可以长期稳定工作，达到精密控制电子束能量和精密控制快速铺粉成形的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 电子枪 电磁 控制系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种冷阴极电子枪电磁控制系统，其特征在于，包括：沿电子枪轴线自上而下依次安装的第一消像线圈(2)、上聚焦线圈(5)、第二消像线圈(6)、下聚焦线圈(7)和偏转扫描线圈(8)；第一消像线圈驱动电源(201)，与所述第一消像线圈(2)连接，用于给所述第一消像线圈(2)提供恒定电流，使所述第一消像线圈(2)产生稳定磁场；上聚焦线圈驱动电源(501)，与所述上聚焦线圈(5)连接，用于给所述上聚焦线圈(5)提供恒定电流，使所述上聚焦线圈(5)对从电子枪阳极(12)射出的电子束进行一次电磁聚焦；第二消像线圈驱动电源(601)，与所述第二消像线圈(6)连接，用于给所述第二消像线圈(6)提供可调整的消像电流，以使不同位置扫描点的束斑形状一致；下聚焦线圈驱动电源(701)，与所述下聚焦线圈(7)连接，用于给所述下聚焦线圈(7)提供快速变化的聚焦电流，快速改变所述下聚焦线圈(7)产生的磁场，以快速实现对所述电子束的二次电磁聚焦；偏转扫描线圈驱动电源(80)，与所述偏转扫描线圈(8)连接，用于给所述偏转扫描线圈(8)提供快速变化的电流，实现电子束的快速偏转，以使电子束快速稳定在待扫描点；电子束能量分布控制电路(801)，与所述第二消像线圈驱动电源(601)、下聚焦线圈驱动电源(701)和偏转扫描线圈驱动电源(80)连接，用于计算并存储当待扫描点的焦点位置和束斑形状达到设定要求时偏转扫描线圈(8)中的电流大小和方向、第二消像线圈(6)中的消像电流值和下聚焦线圈(7)中的聚焦电流值，并根据计算出的偏转扫描线圈中的电流大小和方向、消像电流值和聚焦电流值控制电子束进行扫描，以使设定扫描区域内不同位置待扫描点的电子束能密度一致。
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