[发明专利]圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置有效
| 申请号： | 201410805548.3 | 申请日： | 2014-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105887035B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴先映;黄杰;廖斌;张荟星;肖天庆 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于材料表面沉积镀膜的圆形靶阴极真空电弧等离子体磁过滤矩形引出装置，该装置由一个矩形口梯形管道和圆弧绕制的磁场线圈构成一个梯形通电螺线管。为了克服圆形阴极靶材的阴极真空电弧源所产生的圆形束斑等离子体对长条状、大面积和卷材类工件镀膜处理能力的不足，本发明提供了一种等离子体磁过滤矩形引出装置，能够将圆形束斑的离子束转化为矩形束斑的离子束。该装置不仅能够与圆截面磁过滤弯管相连构成磁过滤等离子体矩形引出装置，而且能够直接与圆形靶阴极真空电弧源连接引出矩形等离子体束。该装置适于对长条状、大面积和卷材类工件进行沉积镀膜，提高等离子体的利用效率和膜层的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 磁过滤 阴极真空电弧 引出装置 长条状 离子束 镀膜 卷材 束斑 沉积 等离子体束 通电螺线管 磁场线圈 镀膜处理 矩形束斑 梯形管道 圆形阴极 矩形口 圆截面 源连接 靶材 膜层 绕制 弯管 转化 | ||
【主权项】：
一种圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置，其特征是：该装置由一个矩形口梯形管道和圆弧绕制的磁场线圈构成的梯形通电螺线管，能够将圆形束斑的等离子体束转化为矩形束斑的等离子体束。
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