[发明专利]半导体设备中工艺配方的管理方法、管理装置有效
| 申请号： | 201410808882.4 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105787614B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 梁小祎 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 左文;段志慧 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体设备中工艺配方的管理方法，包括以下步骤：获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；根据当前目标工艺配方的配方类型，判断当前目标工艺配方属于父配方还是属于子配方；属于父配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；属于子配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。该管理方法通过对工艺配方权限的细化来避免因不同用户对工艺配方任意编辑导致工艺配方错误的问题。本发明还公开了一种半导体设备中工艺配方的管理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 工艺 配方 管理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，包括以下步骤：获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；根据当前目标工艺配方的配方类型，判断当前目标工艺配方属于父配方还是属于子配方；属于父配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；属于子配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
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