[发明专利]一种磁力显微镜差分磁力显微成像方法

摘要

本发明提供一种磁力显微镜差分磁力成像方法，差分磁力显微成像技术是一个两次对样品同一位置进行扫描磁力显微成像的过程。首先，经垂直磁化后的探针沿着形貌轨迹在离样品表面一定距离处进行扫描，然后在外磁场的作用下对同一探针进行反向磁化，再对样品同一位置进行第二次扫描。由于探针反磁化过程中只有探针与样品间受到的磁力方向发生改变，其它背景力，如静电力，范德华力等都保持原来的状态。通过对两次扫描获得磁力图形进行匹配准确定位，然后将获得准确位置信息的两幅磁力像相减运算，从而排除了其它力的干扰并获得了差分磁力图像，磁力图像的对比度和信噪比得到提高，并获得高质量的磁力图像。

主权项

一种磁力显微镜差分磁力成像方法，其特征在于：采用外加磁场对同一探针进行两次相反方向的磁化并对样品的同一位置进行扫描，用图像匹配对两幅图像进行准确定位，然后将获得准确位置信息的两幅磁力像进行差分运算，排除背景力对磁力像的干扰，获得高质量的磁力像。