[发明专利]全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法有效
申请号: | 201410811692.8 | 申请日: | 2014-12-23 |
公开(公告)号: | CN104465885A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 张学玲 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 孙彬 |
地址: | 213022 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法,该方法的步骤如下:全背电极太阳能电池完成前置制备后,在发射极和背表面场的下表面沉积一起泡钝化膜;再在该起泡钝化膜的下表面设置金属电极浆料,分别为和发射极相对应的金属正电极浆料以及和背表面场相对应的金属负电极浆料,并将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开;再进行热处理,金属正电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的发射极构成欧姆接触,形成局部接触金属正电极,金属负电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的背表面场构成欧姆接触,形成局部接触金属负电极。本发明能够省略传统通过激光或刻蚀的方式才能打开接触孔的步骤,简化了工艺步骤的同时,还降低了生产成本,生成的接触孔比较小,光电转换效率高。 | ||
搜索关键词: | 电极 太阳能电池 形成 局域 金属化 生产 方法 | ||
【主权项】:
一种全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法,其特征在于该方法的步骤如下:(a)全背电极太阳能电池完成前置制备后,在发射极(1)和背表面场(2)的下表面沉积一起泡钝化膜(3);其中,在温度环境中,起泡钝化膜(3)内部生成多个气泡,将该区域的钝化膜剥离,局部打开钝化膜;(b)再在该起泡钝化膜(3)的下表面设置金属电极浆料,分别为和发射极(1)相对应的金属正电极浆料以及和背表面场(2)相对应的金属负电极浆料,并将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开以避免短路;(c)再进行热处理,金属正电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的发射极(1)构成欧姆接触,形成局部接触金属正电极(4),金属负电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的背表面场(2)构成欧姆接触,形成局部接触金属负电极(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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