[发明专利]一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源在审
| 申请号： | 201410816245.1 | 申请日： | 2014-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105779944A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 赵岳;申绪男;乔在祥;赵彦民 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源。本发明属于太阳电池技术领域。一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特点是：用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源的炉体电阻丝采用分区加热方式，分为底部加热器、侧边加热丝和顶部加热单元；底部加热器的加热丝盘绕于底部均匀的线槽内，侧边加热丝均布在炉体外侧的走线槽内，侧边加热丝外包覆保温层，顶部加热器单元置入下绝缘盖板上方，顶部加热器单元上放置上绝缘盖板。本发明具有温度控制精确，蒸发量稳定，提升了物料分子的活性，提高了物料的反应活性，工艺灵活性强，可随时调整物料沉积效果，实现稳定地在工业化生产中获得连续线性沉积效果等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 cigs 太阳电池 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源的炉体电阻丝采用分区加热方式，分为底部加热器、侧边加热丝和顶部加热单元；底部加热器的加热丝盘绕于底部均匀的线槽内，侧边加热丝均布在炉体外侧的走线槽内，侧边加热丝外包覆保温层，顶部加热器单元置入下绝缘盖板上方，顶部加热器单元上放置上绝缘盖板。
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