[发明专利]一种光刻投影物镜控制装置无效
| 申请号： | 201410817173.2 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104516215A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 郭嘉亮;李佩玥;李朋志;王学亮;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种光刻投影物镜控制装置属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的无法对多个功能性调节机构进行集中控制的问题。本发明包括上位机、工控机箱、驱动控制箱、压电驱动器和电容传感器：工控机箱包括主控单板计算机、多路串口从板和VME总线背板，主控单板计算机与多路串口从板插在VME总线背板上，通过VME总线互联；驱动控制箱包括高压驱动板和信号采集板，高压驱动板通过高压模拟信号与压电驱动器连接，信号采集板通过低压模拟信号与电容传感器连接；主控单板计算机通过工业以太网与上位机互联；信号采集板通过RS422传输链路A与多路串口从板互联；高压驱动板通过RS422传输链路B与多路串口从板互联。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻投影物镜控制装置，其特征在于，包括上位机(1)、工控机箱(2)、驱动控制箱(6)、压电驱动器(15)和电容传感器(16)：所述工控机箱(2)包括主控单板计算机(11)、多路串口从板(4)和VME总线背板(3)，主控单板计算机(11)与多路串口从板(4)插在VME总线背板(3)上，通过VME总线互联、采用VME64标准进行数据交换；所述驱动控制箱(6)包括高压驱动板(13)和信号采集板(7)，所述高压驱动板(13)通过高压模拟信号传输链路(14)与压电驱动器(15)连接，所述信号采集板(7)通过低压模拟信号传输链路(8)与电容传感器(16)连接；所述主控单板计算机(11)通过工业以太网传输链路(10)与上位机(1)互联；所述信号采集板(7)通过RS422传输链路A(5)与多路串口从板(4)互联；所述高压驱动板(13)通过RS422传输链路B(12)与多路串口从板(4)互联。
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