[发明专利]MoS2/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201410819207.1 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN105779951A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张斌;张俊彦;强力;高凯雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及MoS2/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：1）将基体用无水乙醇和丙酮分别超声清洗10分钟；2）抽真空度至3×10-3Pa，充入氩气，偏压600-1000V等离子处理时间5~10min；3）打开溅射靶1、3，电流6-20A，偏压50-500V，在Ar、甲烷气氛中磁控溅射MoS2/Nb靶；4）其Ar气流量固定120-300sccm，CH4气体流量逐步增加到氩气的1/2-2/3。本发明发展的具有高硬度、低摩擦系数和优异抗磨损性能以及具有环境自适应的新型润滑薄膜材料为薄膜材料的制备提供了一种新思路，必将推动润滑薄膜技术和应用迈向一个新的台阶。 | ||
| 搜索关键词： | mos sub nbc dlc 多元 纳米 复合 润滑 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
MoS2/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：1）将基体用无水乙醇和丙酮分别超声清洗10分钟；2）抽真空度至3×10‑3Pa，充入氩气，偏压600‑1000V等离子处理时间5~10min；3）打开溅射靶1、3，电流6‑20A，偏压50‑500V，在Ar、甲烷气氛中磁控溅射MoS2/Nb靶；4）其Ar气流量固定120‑300sccm，CH4气体流量逐步增加到氩气的1/2‑2/3。
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