[发明专利]基于数字全息的样品漂移主动补偿方法及装置

摘要

本发明属于精密测量领域，为提供一种样品漂移主动补偿方法及装置，提高测量系统对样品漂移的补偿速度和精度，并实现三维尺度上的漂移补偿。为此，本发明采取的技术方案是，基于数字全息的样品漂移主动补偿装置，包括：激光器，衰减器，特殊载玻片，三维纳米移动平台，物镜，二维高速光电检测器，处理系统，反馈系统，移动平台控制台，虚线处的平面为全息图平面；由激光器生成单色连续激光，用于系统的照明光源；衰减器用于调节激光器发出的照明激光的光强。本发明主要应用于精密测量。

主权项

一种基于数字全息的样品漂移主动补偿装置，其特征是，包括：激光器，衰减器，特殊载玻片，三维纳米移动平台，物镜，二维高速光电检测器，处理系统，反馈系统，移动平台控制台，虚线处的平面为全息图平面；由激光器生成单色连续激光，用于系统的照明光源；衰减器用于调节激光器发出的照明激光的光强；特殊载玻片固着于三维纳米移动平台上，用于承载样品并且附着或刻蚀微球；三维纳米移动平台通过调节位置用于主动补偿样品的漂移；物镜用于成像，使二维高速光电检测器获取全息图；二维高速光电检测器为CMOS或高速CCD，用于快速获取微球位相图的位置和位相的变化；处理系统根据二维高速光电检测器提供的微球位相图，通过全息图的数值重构或利用衍射图样相关性匹配方式确定微球的位移量，从而得到样品的漂移量，向反馈系统提供信号确定其反馈量；反馈系统根据样品的漂移量向移动平台控制台提供反馈信号；移动平台控制台接收反馈信号，根据反馈信号输出电压驱动位置调节进行纳米级的补偿。