[发明专利]一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法。该激光器采用阶梯型波导结构，即在激光器工作时产热严重的有源区部分刻蚀成阶梯型台面的方法，使得产热区域热交换面积增大，能够有效的降低有源区温度，并可改善传统湿法刻蚀双沟道脊型波导带来的电流限制差的缺点，减少电流泄漏，提高激光器电光转换效率。利用本发明，可以提高激光器的输出功率、工作稳定性及使用寿命，减小控温设备压力，适用于高功率量子级联激光器单管及阵列的制作。

主权项

一种高效侧向导热的量子级联激光器结构，其特征在于，该结构自下而上包括：衬底面电极、N型衬底、N型下包层、N型下波导层、有源区、N型上波导层、N型上包层、N型盖层和外延面电极；有源区为脊型结构，两侧为阶梯结构；N型上波导层、N型上包层和N型盖层的宽度与有源区的脊型上表面相等；N型衬底、N型下包层、N型下波导层、有源区、N型上波导层、N型上包层和N型盖层的外表面生长电绝缘层；电绝缘层上表面开一个电注入窗口；在电绝缘层的外表面生长外延电极。