[发明专利]一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计

摘要

一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计，包括上盖、敏感硅结构和下盖，上盖设有上固定电容板，下盖设有下固定电容板，敏感硅结构包括固定框架、敏感质量块和折叠梁，固定框架各侧边均设有应力释放槽，固定框架于应力释放槽与固定框架内侧之间形成匹配梁，敏感质量块设于固定框架中间，并通过折叠梁连接于匹配梁上，上固定电容板包括上检测电极和上匹配电极，上匹配电极围设于上检测电极四周，下固定电容板包括下检测电极和下匹配电极，下匹配电极围设于下检测电极四周，敏感质量块位于上检测电极和下检测电极之间，匹配梁位于上匹配电极和下匹配电极之间。该折叠梁式高灵敏度微机械加速度计具有结构简单、制备方便、成本低廉、温度漂移小的优点。

主权项

一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计，包括上盖（1）、敏感硅结构（2）和下盖（3），所述上盖（1）上设有上固定电容板（10），所述下盖（3）上设有下固定电容板（30），所述敏感硅结构（2）设于上固定电容板（10）和下固定电容板（30）之间，其特征在于：所述敏感硅结构（2）包括固定框架（21）、敏感质量块（22）和折叠梁（23），所述固定框架（21）各侧边均设有应力释放槽（24），所述固定框架（21）于应力释放槽（24）与固定框架（21）内侧之间形成匹配梁（25），所述敏感质量块（22）设于固定框架（21）中间，并通过折叠梁（23）连接于匹配梁（25）上，所述上固定电容板（10）包括上检测电极（101）和上匹配电极（102），上匹配电极（102）围设于上检测电极（101）四周，所述下固定电容板（30）包括下检测电极（301）和下匹配电极（302），下匹配电极（302）围设于下检测电极（301）四周，所述敏感质量块（22）位于上检测电极（101）和下检测电极（301）之间，所述匹配梁（25）位于上匹配电极（102）和下匹配电极（302）之间。