[发明专利]一种半导体存储器件电学参数测试系统

摘要

本发明属于微电子存储器件测试技术领域，具体为一种半导体存储器件电学参数测试系统。本发明系统包括测试机台、计算机、控制软件以及通讯电缆。其中：测试机台包括信号发生模块、数据采集模块、多档电阻切换电路模块、集成控制模块；计算机用于安装控制软件以及存储数据；控制软件用于用户执行已编辑或用户自定义编辑的测试程序模块，以及监控和处理数据；通讯电缆用于计算机与测试机台互相通信。本发明解决了目前新一代半导体存储器件研发中缺乏相应存储器件电学参数测试设备，已有的相关电学测试设备测试功能单一，难以满足新型多样存储器件研发需求，同时本发明结构简单，方便实用，可快速扩展多种测试功能。

主权项

一种半导体存储器件电学参数测试系统，其特征在于包括测试机台、计算机、控制软件以及通讯电缆；其中：所述测试机台包括信号发生模块、数据采集模块、多档电阻切换电路模块、集成控制模块；其中，信号发生模块用于生成各种波形电压激励信号；数据采集模块用于采集被测模块模拟信号并转化为数字信号；多档电阻切换电路模块用于调节整个测试电路系统的总串联电阻及选择信号输出或信号回传功能；集成控制模块用于计算机集成控制信号发生模块、数据采集模块、多档电阻切换电路模块；所述计算机用于安装控制软件以及存储数据；所述控制软件用于用户执行已编辑或用户自定义编辑的测试程序模块，以及监控和处理数据；所述通讯电缆用于计算机与测试机台互相通信；系统的工作流程如下：首先，利用计算机通过通讯电缆及集成控制模块控制信号发生模块，生成用户在控制软件上编辑好的波形电压激励信号；同时，利用计算机通过集成控制模块控制多档电阻切换电路模块分别选择合适的电阻档位以及信号输出或信号回传功能：当选择信号输出功能时，信号输出端对应输出波形电压激励信号到被测存储器件单元；信号输入接收被测存储器件单元的响应模拟信号，之后数据采集模块接收模拟信号并转化成数字信号；当选择信号回传功能时，波形电压激励信号直接由数据采集模块接收模拟信号并转化成数字信号；然后，计算机通过通讯电缆及集成控制模块把数据采集模块的数字信号输入到控制软件显示，并进行运算处理，最后保存原始及处理后数据。