[发明专利]流体排放装置有效
申请号: | 201410833876.4 | 申请日: | 2014-12-29 |
公开(公告)号: | CN105797794B | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 克里斯塔·赫尔格·雅各布;李岳颖;张盈乔 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | B01L7/00 | 分类号: | B01L7/00 |
代理公司: | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人: | 王正茂;丛芳 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种流体排放装置,该流体排放装置包含排放管、外管与至少一个挡板。排放管具有排放口,排放管具有端面,端面毗邻排放口。外管套设于排放管外,且外管中具有至少一个通道,通道用以流通干净干燥气体,通道具有出口。挡板设置于出口外,使得干净干燥气体在通过出口时,至少部分被挡板止挡转向,而吹往排放管的端面,使得干净干燥气体能够流经位于排放口附近与高(常)温空气接触的低温硬件介面,有效防止位于排放口附近的硬件介面上出现结霜、露水的现象。 | ||
搜索关键词: | 流体 排放 装置 | ||
【主权项】:
1.一种流体排放装置,其特征在于,该流体排放装置包含:排放管,其具有排放口,所述排放管具有端面,所述端面毗邻所述排放口;外管,其套设于所述排放管外,且所述外管中具有至少一个通道,所述通道用以流通干净干燥气体,所述通道具有出口;以及至少一个挡板,其设置于所述出口的正上方,使得所述干净干燥气体在通过所述出口时,至少部分被所述挡板止挡转向,而吹往所述排放管的所述端面;其中,所述挡板具有外表面以及多个气孔,所述外表面位于所述挡板远离所述通道的一面,所述多个气孔连通所述外表面,所述干净干燥气体至少部分通过所述多个气孔,并在所述外表面形成气膜。
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