[发明专利]一种三维微纳米接触触发式探头在审
| 申请号： | 201410834005.4 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104457613A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;向萌;范光照;冯建;何亚雄 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是在一固定圆环的中央设置十字悬浮片，在十字悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片一侧的中央位置处设置测量中央平面反射镜，另一侧安装带有红宝石测球的探针；激光器发射出的准直光投射在测量中央平面反射镜上，并经测量中央平面反射镜反射后形成反射光，反射光经过透镜聚焦在四象限探测器上，以四象限探测器测量中央平面反射镜的位移和二维角度。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 纳米 接触 触发 探头 | ||
【主权项】：
一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是包括：一测头单元(7)，是在一固定圆环(7a)的中央设置十字悬浮片(7b)，在所述十字悬浮片(7b)的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片(7c)，所述各悬臂簧片(7c)的另一端与固定圆环(7a)相连接，形成十字悬浮片(7b)在固定圆环(7a)中的悬浮结构；在所述十字悬浮片(7b)一侧的中央位置处设置测量中央平面反射镜(7d)，另一侧安装带有红宝石测球(7e)的探针(7f)；一测量单元，设置所述测量单元的光路结构为：由激光器(5)射出的准直光投射在所述测量中央平面反射镜(7d)上，并经所述测量中央平面反射镜(7d)反射后形成反射光，所述反射光经过透镜(4)聚焦在四象限探测器(3)上，以所述四象限探测器(3)测量中央平面反射镜(7d)的位移和二维角度。
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