[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种能够谋求生产率的提高的基板处理装置。实施方式的基板处理装置包括多个处理单元以及基板输送装置。多个处理单元在铅垂方向上并排地配置，用于处理基板。基板输送装置能够在铅垂方向上移动，用于进行基板相对于处理单元的送入送出。另外，基板输送装置包括第1输送臂和第2输送臂，第1输送臂和第2输送臂在铅垂方向上并排地配置，并且，在铅垂方向上的可移动范围互相重叠且能独立地在铅垂方向上移动。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置包括：多个处理单元，其在铅垂方向上并排地配置，用于处理基板；以及基板输送装置，其能够在铅垂方向上移动，用于进行所述基板相对于所述处理单元的送入送出，所述基板输送装置包括第1输送臂和第2输送臂，该第1输送臂和第2输送臂在铅垂方向上并排地配置，并且在铅垂方向上的可移动范围互相重叠且能独立地在铅垂方向上移动，在比配置于最上层的所述处理单元靠上方的位置或者比配置于最下层的所述处理单元靠下方的位置具有能够容纳所述第1输送臂或者所述第2输送臂的退避空间，所述基板处理装置还包括：控制部，其用于控制所述基板输送装置；以及异常检测部，其用于检测所述第1输送臂和所述第2输送臂的臂伸缩动作、在铅垂方向上的移动动作、以及以铅垂轴线为中心的旋转动作的异常，其中，在检测到所述第1输送臂和所述第2输送臂中的一个输送臂的臂伸缩动作或以铅垂轴线为中心的旋转动作的异常的情况下，所述控制部进行控制，以使检测到异常的输送臂移动到所述退避空间，并使另外一个输送臂进行应该由所述检测到异常的输送臂进行的作业，在检测到所述第1输送臂和所述第2输送臂中的一个输送臂在铅垂方向上的移动动作的异常的情况下，所述控制部进行控制，以使得未检测到异常的输送臂进行所述基板相对于位于比检测到异常的输送臂靠下方或者靠上方的位置的处理单元的送入送出，其中，所述基板输送装置包括：一对支柱构件，其配置于所述第1输送臂和所述第2输送臂这两者的两侧；第1升降机构，其设于所述一对支柱构件中的一者的内部，用于使所述第1输送臂在铅垂方向上移动；第2升降机构，其设于所述一对支柱构件中的另一者的内部，用于使所述第2输送臂在铅垂方向上移动，其中，该基板处理装置包括一对导轨，其分别设于所述一对支柱构件的内部，用于引导所述第1输送臂和所述第2输送臂在铅垂方向上移动。