[发明专利]一种降低LED电极耗Au量的蒸镀机

摘要

本发明提供一种降低LED电极耗Au量的蒸镀机，包括支座、电子枪、加热灯座、前置式镀锅、旋转电机，所述支座下端安装有电子枪，电子枪上方安装有导磁片，电子枪上侧设有钨衬锅，钨衬锅上侧安装有坩埚遮板，坩埚遮板上部两侧设有加热灯座，加热灯座上侧安装有前置式镀锅，前置式镀锅上设有镀锅前置承片盘，前置式镀锅通过导轨安装在导轨支撑柱上，导轨上端连接有旋转电机，支座后侧设有气动阀，气动阀的上侧安装有主阀气缸、下侧安装有冷泵。本发明采用电子束洛仑兹力增强技术，通过对电子枪的改造(增加导磁片)，控制蒸镀机电子枪磁场分布，使得电子束更加集中，从而达到降低蒸发功率，减少黄金消耗，减少蒸镀黑点的效果。

主权项

一种降低LED电极耗Au量的蒸镀机，包括：支座、电子枪、加热灯座、前置式镀锅、旋转电机，其特征在于：所述支座下端安装有电子枪，电子枪上方安装有导磁片，电子枪上侧设有钨衬锅，钨衬锅上侧安装有坩埚遮板，坩埚遮板通过旋转气缸立柱安装在支座上，坩埚遮板上部两侧设有加热灯座，加热灯座通过固定杆安装在支座上，加热灯座下侧连接有加热灯变压器，加热灯座上侧安装有前置式镀锅，前置式镀锅上设有镀锅前置承片盘，前置式镀锅通过导轨安装在导轨支撑柱上，导轨支撑柱安装在支座的上端，导轨上端连接有旋转电机，旋转电机安装在支座的顶部，支座后侧设有气动阀，气动阀的上侧安装有主阀气缸、下侧安装有冷泵，主阀气缸上端安装有抽气管路，抽气管路上安装有真空计；所述支座一侧安装有腔门，腔门一侧与支座之间设有门扣、另一侧通过铰链安装在支座上，腔门前端设有视窗。