[发明专利]一种铸锭过程中去除多晶硅硬质夹杂的方法

摘要

本发明提供了一种铸锭过程中去除多晶硅硬质夹杂的方法，包括以下步骤：提供过滤网，在坩埚中填装硅料，将所述过滤网置于硅料底部或顶部，加热使所述硅料全部熔化形成硅液，所述过滤网在重力和浮力的作用下携带所述硅液中的硬质夹杂上浮于硅液顶部或下沉于硅液底部；所述过滤网的熔点大于硅的熔点，且对硅液无污染；调节热场，使所述硅液进行定向凝固结晶，得到多晶硅。本发明提供的去除多晶硅硬质夹杂的方法，只需在硅料顶部或底部放置过滤网，通过过滤网重力和浮力的作用达到过滤硅液的目的，提纯方法简单易操作，成本较低。使用该方法过滤出硬质夹杂后制得的多晶硅，可以多次使用，降低了生产成本。

主权项

一种铸锭过程中去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供过滤网，在坩埚中填装硅料，将所述过滤网置于硅料底部或顶部，加热使所述硅料全部熔化形成硅液，所述过滤网在重力和浮力的作用下携带所述硅液中的硬质夹杂上浮于硅液顶部或下沉于硅液底部；所述过滤网的熔点大于硅的熔点，且对硅液无污染；调节热场，使所述硅液进行定向凝固结晶，得到多晶硅。