[发明专利]一种移相干涉检测振动抑制方法

摘要

一种移相干涉检测振动抑制方法，属于光学检测领域，为了提高干涉检测的重复性、复现性和精度，该方法为：步骤1，利用移相干涉仪采集一组N幅移相干涉图，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法计算相位分布Ф1；步骤2，利用移相干涉仪自身的移相器，调整干涉腔的腔长，使得腔长变化λ/8，待干涉仪稳定后采集一组干涉图，干涉图的数量与移相间隔与步骤1中的一致，采用与步骤1相同的算法计算出被测相位Ф2；同样步骤3和步骤4分别计算出被测相位Ф3和被测相位Ф4；步骤5，对步骤1、2、3和4获得的4次测量结果进行像素对像素的相位平均，计算得到平均相位；步骤6，利用公式计算得到平均波面W，完成整个测量。

主权项

一种移相干涉检测振动抑制方法，其特征是，该方法包括如下步骤：步骤1，利用移相干涉仪采集一组N幅移相干涉图，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法计算相位分布Ф1，移相干涉图的移相间隔需要满足算法要求，算法满足下式：φ(x,y)=arctan[Σn=1NSnIn(x,y)Σn=1NCnIn(x,y)]---(3)]]>式中，N为总的移相干涉图帧数，In为第n帧移相干涉图，Sn和Cn均为移相算法的系数；步骤2，利用移相干涉仪自身的移相器，调整干涉腔的腔长，使得腔长变化λ/8，待干涉仪稳定后采集一组干涉图，干涉图的数量与移相间隔与步骤1中的一致，采用与步骤1相同的算法计算出被测相位Ф2；步骤3，利用移相干涉仪自身的移相器，调整干涉腔的腔长，使得腔长变化λ/8，腔长的变化方向与步骤2的变化方向相同，待干涉仪稳定后采集一组干涉图，干涉图的数量与移相间隔与步骤1中的一致，采用与步骤1相同的算法计算出被测相位Ф3；步骤4，调整干涉腔的腔长，使得腔长变化λ/8，腔长的变化方向与步骤2、步骤3的变化方向相同，待干涉仪稳定后采集一组干涉图，干涉图的数量与移相间隔与步骤1中的一致，采用与步骤1相同的算法计算出被测相位Ф4；步骤5，对步骤1、2、3和4获得的四次测量结果进行像素对像素的波面平均，计算得到平均相位Фave＝(Ф1+Ф2+Ф3+Ф4)/4。步骤6，利用公式计算得到平均波面W，完成整个测量。