[发明专利]一种钼铌合金靶材板的制备方法有效
| 申请号： | 201410840759.0 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104550979B | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李晶;安耿;党晓明;刘仁智;席莎;赵虎;史振琦;刘涛;王锦 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F5/00 | 分类号： | B22F5/00;B22F3/16 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种钼铌合金靶材板的制备方法，将钼粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的钼粉；将铌粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的铌粉；分别将钼粉与铌粉混合得到三种粒度分布的钼铌合金粉；将钼铌合金粉末压制成坯料，置于中频炉中氢气烧结，即得到钼铌合金靶材板。本发明钼铌合金靶材板的制备方法，操作简单、成本低，通过粉末冶金方法即可直接烧制出高质量的钼铌合金靶材板，本发明三种不同粒度分布的钼铌合金粉经过冷等静压压制出板坯，中频氢气烧制出密度大于9.8g/cm3、O含量低于1000ppm的高品质钼铌合金靶材板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 靶材板 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钼铌合金靶材板的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，将粒度分布d50：9.0～20.0μm的钼粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布d50：5.0～7.0μm、8.0～10.0μm、11.0～13.0μm的钼粉；步骤2，将粒度分布为d50：15.0～30.0μm的铌粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布d50：5.0～6.0μm、7.0～8.0μm、9.0～10.0μm的铌粉；步骤3，分别将粒度分布为d50：5.0～7.0μm的钼粉与粒度分布为d50：5.0～6.0μm的铌粉混合、将粒度分布为d50：8.0～10.0μm的钼粉与粒度分布为d50：7.0～8.0μm的铌粉混合、将粒度分布为d50：11.0～13.0μm的钼粉与粒度分布为d50：9.0～10.0μm的铌粉混合，然后分别置于真空三维混料机中混合均匀，得到三种粒度分布为d50：5.0～7.0μm、8.0～10.0μm、11.0～13.0μm的钼铌合金粉；步骤4，分别将步骤3得到的三种不同粒度的钼铌合金粉在冷等静压机中在150～300Mpa下压制成坯料，置于中频炉中氢气烧结，即得到钼铌合金靶材板。
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