[发明专利]采用双通结构的双腔准分子激光器有效
| 申请号： | 201410840961.3 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104577684B | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李慧;赵江山;沙鹏飞;宋兴亮;范元媛;单耀莹;王倩;蔡茜玮;张立佳;崔惠绒;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/081 | 分类号： | H01S3/081;H01S3/082 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用双通结构的双腔准分子激光器，包括主振荡腔(MO)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合镜(OC)、功率放大腔(PA)、第一高反镜(M1)、PA光路传输模块(1)、PA光路转置模块(2)。主振荡腔(MO)与功率放大腔(PA)在垂直于水平面的方向上放置，PA光路传输模块(1)由三个高反镜组成，PA光路转置模块由双面反射镜组成，由PA光路传输模块(1)入射到功率放大腔(PA)的激光与从(PA)光路转置模块(2)返回的激光位于同一水平面内，且具有一个微小夹角。本发明能降低光路对准难度，提高对准精度，还能降低元件的成本，具有结构灵活、散热效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 结构 准分子激光 | ||
【主权项】：
一种采用双通结构的双腔准分子激光器，包括主振荡腔(MO)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合镜(OC)、功率放大腔(PA)和光路传输系统，所述主振荡腔(MO)与功率放大腔(PA)在垂直于水平面的方向上分别上下放置，所述光路传输系统包括第一高反镜(M1)、PA光路传输模块(1)、PA光路转置模块(2)，其中，所述第一高反镜(M1)和所述PA光路传输模块(1)用于将所述主振荡腔(MO)输出的种子光引导，以使该种子光从所述功率放大腔(PA)的一个窗口入射；所述PA光路转置模块(2)用于将经所述功率放大腔(PA)放大后从该功率放大腔(PA)的另一窗口出射的激光反射后返回到该功率放大腔(PA)进行二次放大并输出，其特征在于，所述PA光路传输模块(1)由第三高反镜(M3)、第四高反镜(M4)和第五高反镜(M5)组成，且该三个高反镜在同一水平面内。
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