[发明专利]一种刀闸微型阀装置

摘要

本发明公开了一种新型刀闸微型阀装置，由上下两层硅片键合而成，第一层硅片设有上下贯穿的电极口，第一层硅片底面设有空腔，所述空腔内设有移动构件，所述移动构件设有闸门和压电致动部。第二层硅片上设有上下贯通的流体入口，流体出口和控制端口，第二层硅片顶面设有凹槽，所述凹槽内设有流体通道。在第一层硅片和第二层硅片键合后，第一层硅片的空腔与第二层硅片上的流体入口、流体出口、控制端口、凹槽以及第一层硅片的底面和第二层硅片的顶面，组成闸微阀内的流体的密闭腔室。本发明将闸门和流体通道分别设计在两层不同的硅片上，提升了结构的抗干扰能力；再通过内部密闭腔室的形成，实现了微阀的低泄露要求。

主权项

1.一种刀闸微阀装置，由上下两层硅片键合而成，其特征在于：第一层硅片设有上下贯穿的电极口，第一层硅片底面设有空腔，所述空腔内设有移动构件，所述移动构件设有闸门和压电致动部，所述移动构件包括第一移动构件和第二移动构件；第二层硅片设有上下贯通的流体入口，流体出口和控制端口，第二层硅片顶面设有凹槽，所述凹槽内设有流体通道，所述流体通道包括入流通道和出流通道，所述入流通道一端为流体入口，另一端为受第一移动构件上第一闸门控制的第一流体通口，所述出流通道一端为流体出口，另一端为受第二移动构件上第二闸门控制的第二流体通口，在第一层硅片和第二层硅片键合后，第一层硅片的空腔与第二层硅片的流体入口、流体出口、控制端口、凹槽以及第一层硅片的底面和第二层硅片的顶面，组成闸微阀内的流体的密闭腔室。