[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用

摘要

本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液，所述制绒处理液包括第一处理液和第二处理液A或B，第一处理液为氢氟酸、双氧水、金属盐和水的混合溶液，所述处理液A包括硝酸和强碱，所述处理液B为硝酸、氢氟酸和水的混合溶液。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，采用所述预处理液在所述硅片的表面进行处理，形成均匀的损伤层，得到制绒预处理硅片。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，对所述制绒预处理硅片进行常规制绒处理，在所述硅片表面形成均匀、低反射率的绒面，得到金刚线切割多晶硅片制绒产品。本发明还提供了一种制绒预处理硅片和金刚线切割多晶硅片制绒产品。

主权项

一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液，其特征在于，包括第一处理液和第二处理液，所述第一处理液为氢氟酸、双氧水、金属盐和水的混合溶液，其中，氢氟酸、双氧水、水的体积比为1‑5:10‑15:5‑10，所述第一处理液中，金属离子的摩尔浓度为5‑100μmol/L；所述第二处理液包括第二处理液A或第二处理液B，所述第二处理液A包括硝酸和强碱，其中，硝酸的质量浓度为5‑30％，强碱的质量浓度为1‑10％，所述第二处理液B为硝酸、氢氟酸和水的混合溶液，其中，硝酸、氢氟酸与水的体积比10‑50：0.1‑5：50‑150。