[发明专利]一种扇出PoP封装结构及其制造方法在审
申请号: | 201410842516.0 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104538375A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 夏国峰;于大全 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 710018 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种扇出PoP封装结构及其制造方法,该扇出PoP封装通过上、下封装堆叠形成。下封装体包括了第一金属凸点结构、第一IC芯片、键合焊盘、第一塑封料、再布线金属走线层、第一金属层、介电材料层、第二金属层和第一焊球,第一IC芯片的键合焊盘与再布线金属走线层互联,第一金属凸点结构构成模塑料通孔,模塑料通孔实现上、下封装体之间以及与外部结构的三维集成互联。制造该封装结构的主要方法:在第一基板上表面制作第一金属凸点结构,上芯,塑封,制作再布线金属走线层,对第一基板下表面进行减薄,植球和回流工艺形成下封装体。在下封装体上方直接贴装BGA封装等其他封装作为上封装体,或者在下封装体上方进行上芯、引线键合和塑封工艺形成上封装体,形成扇出PoP封装。该发明较好的解决了现有PoP封装技术所存在的封装密度和成本问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 pop 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种扇出PoP封装结构,其特征在于,所述结构是由下封装体(50)和上封装体组成;所述下封装体(50)包括了第一金属凸点结构(2)、第一IC芯片(3)、键合焊盘(4)、第一塑封料(6)、再布线金属走线层(7)、第一金属层(8)、介电材料层(9)、第二金属层(10)和第一焊球(11);所述第一IC芯片(3)带有键合焊盘(4),第一金属凸点结构(2)上有第二金属层(10),第一塑封料(6)包围了第一IC芯片(3)和第一金属凸点结构(2),第一IC芯片(3)的和第一金属凸点结构(2)的同一个方向的表面裸露;第一IC芯片(3)的键合焊盘(4)与再布线金属走线层(7)连接,再布线金属走线层(7)上制作有第一金属层(8),第一金属层(8)上植有第一焊球(11),在第一IC芯片(3)、第一金属凸点结构(2)和第一塑封料(6)的同一方向的表面涂覆有介电材料层(9),介电材料层(9)包围再布线金属走线层(7);所述上封装体为第一上封装体(60),其是由第二基板(12)、第一粘片胶(13)、第二IC芯片(14)、第一金属导线(15)、第二塑封料(16)和第二焊球(17)组成,所述第二基板(12)通过第一粘片胶(13)与第二IC芯片(14)连接,第二基板(12)下部还植有第二焊球(17),第一金属导线(15)连接了第二基板(12)和第二IC芯片(14),第二塑封料(16)包围了第一粘片胶(13)、第二IC芯片(14)和第一金属导线(15),第二焊球(17)与下封装体(50)的第二金属层(10)连接。
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