[发明专利]一种光刻胶在审
| 申请号： | 201410844561.X | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN105785716A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 钟亮;刘翘楚;黄康 | 申请（专利权）人： | 上海飞凯光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 刘映东 |
| 地址： | 201206 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶，属于金属蚀刻领域。该光刻胶包括以下重量份的成分：5-30份的固化树脂、10-50份的碱溶性树脂、5-25份的聚合单体、0.5-8份的光引发剂、2-10份的自由基聚合引发剂、20-70份的溶剂，所述固化树脂中具有碳碳双键。本发明提供的光刻胶通过光交联固化反应-热交联固化反应，提高了双键转化率及交联密度，使固化后的光刻胶形成非常致密和稳定的交联结构，避免了其被碱攻击而分解，提高了其抗蚀刻性能。而且，本发明提供的光刻胶采用具有碳碳双键的固化树脂同时作为光固化树脂和热固化树脂，其不会和碱溶性树脂中的羧酸基团发生反应，提高了该光刻胶的存储稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 | ||
【主权项】：
一种光刻胶，包括以下重量份的成分：5‑30份的固化树脂、10‑50份的碱溶性树脂、5‑25份的聚合单体、0.5‑8份的光引发剂、2‑10份的自由基聚合引发剂、20‑70份的溶剂，所述固化树脂中具有碳碳双键。
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