[发明专利]一种矩形粒子刮束器

摘要

本发明提供的一种矩形粒子刮束器，其特征在于，包括底板、高度调整脚、精密电控平移台、光栅尺、法兰固定支架、真空焊接波纹管、真空室、刮束杆和刮束板，通过精密电控平移台和光栅尺的配合使用，大大提高了粒子刮束器的精度，同时外设于精密电控平移台外的防护罩，降低了精密电控平移台因落尘而发生精度降低的情况，并延长了精密电控平移台使用寿命，合金密封圈的使用，大大增强了刮束器内空腔的密封性，矩形的刮束室与方形的束流截获板配合使用，大大增强了刮束器的截获性能，同时矩形法兰的设置，可使刮束器可与矩形的输入输出端连接，提高了刮束器的通用性。

主权项

一种矩形粒子刮束器，其特征在于，包括底板、高度调整脚、精密电控平移台、光栅尺、法兰固定支架、真空焊接波纹管、真空室、刮束杆和刮束板，所述底板为长条形，所述高度调整脚设置于底板下方，并与底板固定连接，所述精密电控平移台数量为2个，分别对称固定设置于底板左右两侧，精密电控平移台包括滑动座，所述法兰固定支架数量为2个，法兰固定支架通过螺栓对称固定在2个精密电控平移台的滑动座上，法兰固定支架上设有第一固定法兰，所述真空室通过支架固定设置于2个精密电控平移台中间，真空室前后两侧设有矩形法兰，真空室为中空结构，包括矩形的刮束室和2个截面为方形刮束板室，所述刮束板室位于刮束室左右两侧，并与刮束室连通，刮束板室的开口处设有第二固定法兰，所述真空焊接波纹管数量为2个，真空焊接波纹管的一端通过第二固定法兰与刮束板室的连通，另一端通过第一固定法兰固定于法兰固定支架上，所述刮束杆设置于真空焊接波纹管内，刮束杆的一端与法兰固定支架固接，所述刮束板固定设置于刮束杆的另一端，所述第一固定法兰和第二固定法兰处设有合金密封圈，所述光栅尺设置于精密电控平移台侧面。