[发明专利]一种优质硅片切削液

摘要

本发明涉及一种优质硅片切削液，其组成成分按重量份数计为：聚乙二醇50-60份、水杨酸5-10份、硫代硫酸钠8-16份三甘醇2-7份、羧甲基纤维素10-18份、烷基丁二酸酯磺酸钠0.5-5份、三乙醇胺25-30份、表面活性剂4-12份、分散剂4-12份、水30-35份，可提高碳化硅的稳定性，具有很强的再分散能力，可提高切割良品率，大大降低了切割成本。

主权项

一种优质硅片切削液，其特征为，其组成成分按重量份数计为：聚乙二醇               50‑60份、水杨酸                 5‑10份、硫代硫酸钠             8‑16份、三甘醇                 2‑7份、羧甲基纤维素           10‑18份、烷基丁二酸酯磺酸钠     0.5‑5份、三乙醇胺                   25‑30份、表面活性剂              4‑12份、分散剂                   4‑12份、水                     30‑35份。