[发明专利]一种优质硅片切削液的制备方法在审
| 申请号： | 201410846418.4 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104498170A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/06;C10N40/22 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种优质硅片切削液的制备方法，其制备方法如下：将组分A加入反应釜中进行搅拌，搅拌初始温度为50℃，每5min升高8℃，直至温度升高至120-150℃，再持续搅拌10-15min后将组分A取出；将组分B加入反应釜中进行搅拌，搅拌温度为110-160℃，持续搅拌30-45min；按重量份数比将组分A加入组分B中进一步加以搅拌，搅拌温度为100-110℃，搅拌10-20min即可，可提高碳化硅的稳定性，具有很强的再分散能力，可提高切割良品率，大大降低了切割成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 优质 硅片 切削 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种优质硅片切削液的制备方法，其特征为，其制备方法如下：将组分A加入反应釜中进行搅拌，搅拌初始温度为50℃，每5min升高8℃，直至温度升高至120‑150℃，再持续搅拌10‑15min后将组分A取出；将组分B加入反应釜中进行搅拌，搅拌温度为110‑160℃，持续搅拌30‑45min；按重量份数比将组分A加入组分B中进一步加以搅拌，搅拌温度为100‑110℃，搅拌10‑20min即可。
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