[发明专利]一种高效的硅片切削液的制备方法在审
申请号: | 201410847129.6 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN104560339A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | C10M173/00 | 分类号: | C10M173/00;C10N30/06 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高效的硅片切削液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:首先称量各个原料,然后,依次将单乙醇胺、十二烷基磺酸钠、聚乙二醇、油酸二乙醇胺、硫化油脂、油酸酰胺、丙三醇,水(按重量份数计)导入搅拌机中搅拌,搅拌均匀即可得切削液。本发明可有效提高磨料分散性, 有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率达到99%;且可在硅片表面形成保护膜,提高硅片成品表面光滑度,使硅片更容易被清洗,且提高了切削液的润滑效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 硅片 切削 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种高效的硅片切削液的制备方法的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:首先称量各个原料,然后,依次将单乙醇胺、十二烷基磺酸钠、聚乙二醇、油酸二乙醇胺、硫化油脂、油酸酰胺、丙三醇,水(按重量份数计)导入搅拌机中搅拌,搅拌均匀即可得切削液。
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