[发明专利]高速激光点阵光刻机及其光刻方法在审
| 申请号： | 201410847281.4 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105798464A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 侯英华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨冠标科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/082;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨东方专利事务所 23118 | 代理人： | 陈晓光 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市道里区哈双*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 高速激光点阵光刻机及其光刻方法。传统的点阵光刻机采用静态曝光的工作模式，工作效率低，难以实现大尺寸防伪商标的制作。本发明的组成包括：X-Y工作台（1），所述的X-Y工作台与控制器（3）连接，所述的控制器与计算机（4）连接，所述的控制器还与X-Y直线电机（5）、交流伺服电机（6）、激光器连接（7），所述的交流伺服电机与光栅（8）连接，所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。本发明用于高速激光点阵光刻机及其光刻方法。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 激光 点阵 光刻 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种高速激光点阵光刻机，其组成包括：X‑Y工作台，其特征是：所述的X‑Y工作台与控制器连接，所述的控制器与计算机连接，所述的控制器还与X‑Y直线电机、交流伺服电机、激光器连接，所述的交流伺服电机与光栅连接，所述的X‑Y直线电机与X‑Y工作台连接。
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