[发明专利]一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置有效
| 申请号： | 201410848264.2 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105807580B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 程琦;陈飞彪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01C21/00;G01C9/00 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置，用于同时对工件的垂向和水平向进行测量，包括光源，用于提供探测所述工件所需的光束；以及若干光学元件，用于将所述光束投射至所述工件上，并将所述工件上的反射光分别传送至第一光电探测器和第二光电探测器，其特征在于，所述第一光电探测器，用于探测所述工件的垂向度值；所述第二光电探测器，用于探测所述工件的水平度值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 自由度 位置 姿态 测量 传感器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻机的工件六自由度位置和姿态测量传感器装置，用于可同时对工件的垂向和水平向进行测量，其特征在于，包括光源，用于提供探测所述工件所需的光束；以及若干光学元件，用于将所述光束投射至所述工件上，并将所述工件上的反射光分别传送至第一光电探测器和第二光电探测器，所述第一光电探测器，用于探测所述工件的垂向度值；所述工件上设有对准标记，所述第二光电探测器，用于探测所述工件上对准标记的水平度值，所述若干光学元件至少包括一个分光镜、一套成像前组光学元件、一套成像后组光学元件和用于探测所述工件的水平度值的所述第二光电探测器，在分光镜与成像后组光学元件之间设有一个快门，所述快门仅在所述工件运动至标记位置时打开，所述第二光电探测器探测所述工件上对准标记的水平度值。/n
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