[发明专利]应用在离子源中的放电装置及方法在审
申请号: | 201410849819.5 | 申请日: | 2014-12-26 |
公开(公告)号: | CN104538277A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 俞建成;闻路红;赵鹏;胡舜迪;孙明超;吴勇;宁录胜 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/12;H01J49/04;H01J49/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315211 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种应用在离子源中的放电装置及方法,所述放电装置包括中空容器,还包括:放电针,所述放电针设置在所述容器内,包括尖端部分及后端部分;所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔,所述径向孔均匀分布;放电腔,所述放电腔呈筒形,设置在所述容器内的放电针的一侧,所述尖端部分深入到放电腔内;所述放电腔沿其轴向的截面为对称的两侧,所述截面的临着轴向的一侧为曲线;所述放电腔接地;电源,所述电源为放电针和放电腔之间引入高压。本发明具有稳定性好、灵敏度高、寿命长等优点。 | ||
搜索关键词: | 应用 离子源 中的 放电 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种应用在离子源中的放电装置,所述放电装置包括中空容器;其特征在于:所述放电装置还包括:放电针,所述放电针设置在所述容器内,包括尖端部分及后端部分;所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔,所述径向孔均匀分布;放电腔,所述放电腔呈筒形,设置在所述容器内的放电针的一侧,所述尖端部分深入到放电腔内;所述放电腔沿其轴向的截面为对称的两侧,所述截面的临着轴向的一侧为曲线;所述放电腔接地;电源,所述电源为放电针和放电腔之间引入高压。
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