[发明专利]一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂

摘要

本发明涉及一种单晶硅片无醇制绒工艺及制绒添加剂，首先将硅片加入到预处理液中，对硅片进行预处理，预处理时间60s‑300s，再加入到制绒液中进行制绒；单晶硅制绒工艺为：将去离子水加热到70℃‑90℃，加入氢氧化钠或氢氧化钾，得到单晶硅制绒腐蚀液。采用该制绒添加剂制绒时，不需要异丙醇或乙醇等，可以获得细小、均匀、密集的金字塔绒面，降低制绒成本，避免环境污染；在制绒前加入预处理工艺，可以使制绒后硅片更干净，减少白斑指纹印等返工，具有一定的实用价值。

主权项

一种单晶硅片无醇制绒工艺，其特征在于包括以下步骤：1)配制预处理液：将质量比为0.1wt％～10wt％的氧化剂，质量比为0.1wt％～5wt％的碱，加入到余量的水中，混合均匀，加热到60℃‑80℃；2)配制制绒添加剂：将0.05wt％～5wt％的季戊四醇，0.1wt％～5wt％的三乙醇胺，0.01wt％～5wt％的木质素磺酸钠，加入到余量的水中，搅拌混合均匀配制成添加剂；3)配制制绒液：将步骤2)配制的添加剂加入到碱溶液中，混合均匀配制成制绒液，制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.1～5:100；4)将硅片浸入到步骤1)中配制的制绒预处理液中，预处理液温度为60℃‑80℃，预处理时间60s～300s；预处理完成后将硅片浸入到去离子水中，水温为室温，水洗时间为60s‑300s；水洗完成后加入到步骤3)配制的制绒液中，制绒温度为70℃‑90℃，制绒时间600s～1500s。