[发明专利]一种基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法在审
| 申请号： | 201410850524.X | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104752603A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 杭伟;周立波;袁巨龙;王洁;林旺票;邓乾发;曹霖霖 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | H01L41/35 | 分类号： | H01L41/35 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法，在铁电材料超精密加工时加入冷却液，所述冷却液中加入电解质溶液，通过所述电解质溶液中的自由离子来中和铁电材料被加工时由于压电效应和热释电效应产生的正负电荷，消除铁电材料内部产生的电场。本发明提供一种有效消除逆压电效应产生的内应力、加工效果较好、成品率较高的基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电场 抵消 效应 材料 表面 精密 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法，在铁电材料超精密加工时加入冷却液，其特征在于：所述冷却液中加入电解质溶液，通过所述电解质溶液自由离子来中和铁电材料被加工时由于压电效应和热释电效应产生的正负电荷。
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