[发明专利]晶圆托盘

摘要

一种晶圆托盘，包括若干相同或不同的晶圆载盘以及一盖板，该盖板具有若干镂空区域，每一镂空区域对应一晶圆载盘，盖板的每一镂空区域与固定在该镂空区域下方的晶圆载盘形成一凹槽，该凹槽的直径与晶圆的直径匹配，使得晶圆可放入该凹槽内，本方案将若干晶圆载盘可更换地直接或间接固定在该盖板上，由于该若干晶圆载盘相同或不同，这样，在加热过程中，可根据晶圆受热调整需要更换合适的晶圆载盘。此外，盖板上的镂空区域边缘设置有伸向凹槽中心的环状凸舌，该环状凸舌与凹槽形成晶圆的容置空间，使得晶圆放入凹槽内后，边缘区域被环状凸舌施压，防止晶圆翘曲。

主权项

1.一种晶圆托盘，其特征在于，包括：若干晶圆载盘，所述若干晶圆载盘相同或不同；一盖板，所述盖板具有若干镂空区域，每一镂空区域与一晶圆载盘对应；其中，若干晶圆载盘可更换地直接或间接固定在所述盖板上，盖板的每一镂空区域与固定在所述镂空区域下方的晶圆载盘形成一凹槽，所述凹槽的直径与晶圆的直径匹配，所述盖板上的镂空区域边缘设置有伸向凹槽中心的环状凸舌，所述环状凸舌与所述凹槽形成晶圆的容置空间；所述若干晶圆载盘通过螺钉直接固定在所述盖板上；所述晶圆载盘具有耳部，所述螺钉固定在所述耳部上。