[发明专利]一种温湿度传感器

摘要

本发明公开了一种温湿度传感器，包括数据采集单元、控制处理单元、通信单元、接收单元；数据采集单元包括由多个温度传感器和湿度传感器组成的数据采集单元，数据采集单元采集的数据通过中间件适配器传输至无线通信模块，控制处理单元接受探测单元的电压信号，转换为数字信号并存储；所述的通信单元将控制处理单元的信号通过无线方式发送给接收单元；所述的接收单元接收通信单元的信号，所述无线通信模块包括多个频段的通信单元。本发明利用电感、电容等全无源元件构成集成温度、湿度传感器，由于所有的元器件都为无源器件，可以工作在高温、低温、高污染等恶劣环境中；本发明采用CMOSMEMS工艺制备，功耗低、一致性好，成本低，适合于产业化生产。

主权项

一种温湿度传感器，其特征是，包括数据采集单元、控制处理单元、通信单元、接收单元；所述的数据采集单元包括由多个温度传感器和湿度传感器组成的数据采集单元，该传感器采用悬臂梁电容式温度传感器和叉指电容式湿度传感器，包括从下至上依次连接的半导体衬底、下介质层、下金属层、中间介质层、中间金属层、上介质层，以及位于所述上介质层上表面的上金属互连线和湿敏材料，数据采集单元采集的数据通过中间件适配器传输至无线通信模块，所述的控制处理单元接受数据采集单元的电压信号，转换为数字信号并存储；所述的通信单元将控制处理单元的信号通过无线方式发送给接收单元；所述的接收单元接收通信单元的信号，所述无线通信模块包括多个频段的通信单元。