[发明专利]一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法，装置包括泵浦激光器、非线性晶体、二向色镜、反射结构、第一聚焦镜、第二聚焦镜、滤光元件、针孔及光电探测器。非线性晶体设置在泵浦激光器的激光发射端，二向色镜与非线性晶体具有夹角。所述反射结构用于将所述二向色镜发射出的所述倍频激光反射到光学元件表面。所述第二聚焦镜用于将所述发射结构发射出的倍频激光聚焦到所述光学元件表面。所述滤光元件、针孔依次设置在所述光学元件与所述光电探测器之间。本发明能克服传统方式中由于泵浦激光与探测激光相位不同导致直流分量对测试结果的影响的缺陷，尤其适合短脉冲泵浦激光的测量，其大大提高了光学元件弱吸收测试的灵敏度和精度。

主权项

一种用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，包括泵浦激光器、非线性晶体、二向色镜、反射结构、第一聚焦镜、第二聚焦镜、滤光元件、针孔及光电探测器；所述非线性晶体设置在所述泵浦激光器的激光发射端，用于将部分泵浦激光转成倍频激光；所述二向色镜与所述非线性晶体具有夹角，用于将所述倍频激光与泵浦激光分开；所述第一聚焦镜，设置在所述二向色镜与光学元件之间，用于将所述泵浦激光聚焦到光学元件的表面，且聚焦后的光斑尺寸小于200μm；所述反射结构，用于将所述二向色镜发射出的所述倍频激光反射到光学元件表面，且与所述泵浦激光射在所述光学元件的位置相应，并由光学元件将倍频激光反射到光电探测器；所述第二聚焦镜，设置在所述反射结构与所述光学元件之间，用于将所述发射结构发射出的倍频激光聚焦到所述光学元件表面；所述滤光元件、针孔依次设置在所述光学元件与所述光电探测器之间。