[发明专利]一种基于高数值孔径的折反射式投影物镜

摘要

本发明公开了一种基于高数值孔径的折反射式投影物镜，用于将掩模上的图案成像到像平面上，包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组同光轴，第一透镜的光焦度为正，第二透镜组、第三透镜组的光焦度均为负，第一透镜组包括至少一对相对的凹面反射面，所述相对的凹面反射面之间设有至少两个负弯月透镜。本发明在第一透镜组相对的凹面反射面之间设负弯月透镜，通过负弯月透镜产生的负光焦度补偿凹面反射面产生的正光焦度，有效校正一次成像时的场曲和色差，对第二透镜组的光线入射角度起到很好的约束作用，降低了镜片的最大口径，减少了非球面的数量，降低了光学系统的制造、加工成本和光学元件的检测难度。

主权项

1.一种基于高数值孔径的折反射式投影物镜，用于将掩模上的图案成像到像平面上，其特征在于：包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组同光轴，第一透镜组的光焦度为正，第二透镜组、第三透镜组的光焦度均为负，所述第一透镜组包括至少一对相对的凹面反射面，所述相对的凹面反射面之间设有至少两个负弯月透镜；所述第二透镜组包括至少一个正透镜和至少一对相对的凹面反射面，所述相对的凹面反射面之间设有至少有两个负弯月透镜；其中，所述第一透镜组包括5个镜片，其中1个非球面镜；所述第二透镜组包括7个镜片，其中1个非球面镜；所述第三透镜组包括第一子透镜组、第二子透镜组、第三子透镜组，和一个光阑，所述光阑设于第二子透镜组和第三子透镜组之间；所述第一子透镜组包括至少一个负透镜和至少一个正透镜，所述第二子透镜组包括至少两个负透镜和一个正透镜，所述第三子透镜组包括至少一个负透镜和两个正透镜；所述第一子透镜组包括3个镜片，其中1个非球面，所述第二子透镜组包括7个镜片，其中1个非球面，所述第三子透镜组包括7个镜片，其中2个非球面。