[发明专利]一种硅片推片装置在审
| 申请号： | 201410852060.6 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104465471A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 邱文良 | 申请（专利权）人： | 苏州格林电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片推片装置，包括推送机构和承载盒输送机构；所述推送机构包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述承载盒输送机构包括水平设置的负载承载盒输送带、水平设置的硅片输送带和升降平台；所述负载承载盒输送带和硅片输送带成夹角设置，所述升降平台位于所述负载承载盒输送带和硅片输送带的夹角处；所述升降平台作用有竖向移动驱动装置。本发明的推送机构和承载盒输送机构联合，实现在承载盒内取出硅片，具有操作方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片推片装置，其特征在于：包括推送机构和承载盒输送机构；所述推送机构包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述推送机构支架的顶部设有一主动皮带轮和一从动皮带轮，所述主动皮带轮和从动皮带轮上套设有闭环的皮带，所述主动皮带轮的转轴与一驱动马达的输出轴驱动连接；所述推杆一端固定在推杆固定部上，另一端为自由端，所述推杆固定部与皮带固接；所述推送机构支架的顶部沿主动皮带轮和从动皮带轮连线的方向设有推杆固定部导轨，所述推杆固定部滑动支撑于所述推杆固定部导轨上；所述承载盒输送机构包括水平设置的负载承载盒输送带、水平设置的硅片输送带和升降平台；所述负载承载盒输送带和硅片输送带成夹角设置，所述升降平台位于所述负载承载盒输送带和硅片输送带的夹角处；所述升降平台作用有竖向移动驱动装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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