[发明专利]可提高Z轴方向磁感应强度的磁传感装置及其制备方法在审
| 申请号： | 201410854067.1 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104483638A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张开明;张挺 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种可提高Z轴方向磁感应强度的磁传感装置及其制备方法，所述磁传感装置包括磁性材料层、电极层、导磁单元；所述磁性材料层包括若干磁性材料单元，电极层包括若干列电极组，每组电极组包括若干第一电极，磁性材料单元上排列对应的电极组；所述第一电极靠近导磁单元设置，所述第一电极的宽度小于与该电极对应的磁性材料单元宽度的70％，减少磁性材料单元远离导磁单元一侧的电流密度；所述第二电极对分别设置在远离和靠近导磁单元的两侧，用以将远离导磁单元一侧的无效电流收集到靠近导磁单元一侧，使得靠近导磁单元的有效区域内的电流密度得到提高，从而增强Z轴传感器的灵敏度，提升磁传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 方向 感应 强度 传感 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种可提高Z轴方向磁感应强度的磁传感装置，其特征在于，所述磁传感装置包括：磁性材料层、电极层、导磁单元；所述磁性材料层包括若干磁性材料单元，电极层包括若干列电极组，每组电极组包括若干第一电极，磁性材料单元上排列对应的电极组；所述第一电极靠近导磁单元设置，所述第一电极的宽度小于与该电极对应的磁性材料单元宽度的70％，减少磁性材料单元远离导磁单元一侧的电流密度，将远离导磁单元一侧的无效电流收集到靠近导磁单元一侧，使得靠近导磁单元的有效区域内的电流密度得到提高，从而增强Z轴传感器的灵敏度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海矽睿科技有限公司，未经上海矽睿科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410854067.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
