[发明专利]一种光刻胶组合物在审
申请号: | 201410855600.6 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN104536265A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 王莺妹;何人宝 | 申请(专利权)人: | 浙江永太科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 王刚;龚敏 |
地址: | 317016 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于制造电脑芯片和集成电路的光刻胶组合物,其适合使用ArF、KrF等的受激准分子激光平版印刷、EUV光刻和EB光刻等,并且其表现出优秀的各种光刻胶能力例如敏感度、清晰度等,并且得到特别改进的线边缘粗糙度和图案轮廓。 | ||
搜索关键词: | 一种 光刻 组合 | ||
【主权项】:
一种光刻胶组合物,包含:(1)一种或多种树脂,以光刻胶组合物的固体组分总重量为基准计,存在于组合物中的树脂的量为70到95wt%,其中固体组分指光刻胶组合物中除溶剂之外的组分;(2)式(I)表示的化合物:其中R1‑R12独立地表示卤素、C1‑C20直连或支链烷基、C3‑C30环状烃基或C2‑C20烯基,或者R1‑R11中的两个或更多个结合起来形成含氮杂环;Y是抗衡阴离子;(3)溶剂。
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