[发明专利]一种片状基片热色涂层的热处理装置有效
申请号: | 201410856029.X | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN105800920B | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 詹勇军;徐刚;肖秀娣;史继富 | 申请(专利权)人: | 中国科学院广州能源研究所 |
主分类号: | C03B25/00 | 分类号: | C03B25/00 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 莫瑶江 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种片状基片热色涂层的热处理装置,包括工作平台,所述工作平台依据退火工艺流程方向依次包括预热段和退火段,所述预热段和退火段内设有热源;所述工作平台内设有贯穿整个工作平台的用于传输基片的传动机构,特别的,所述预热段和退火段内热源的开闭交替进行。本发明实行了预热段与退火段的热源交替运行,热辐射灯管即开即关的运行方式,通过控制被处理物体的移动速度、热源的加热功率以及加热时间等加热条件,达到降低设备方面投入成本,避免大功率的热辐射灯管持续运行出现的单位能耗过高消费的目的,并通过快速热处理保证了基片上热致变色涂层的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 片状 基片热色 涂层 热处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种片状基片热色涂层的热处理装置,包括工作平台,所述工作平台依据退火工艺流程方向依次包括预热段和退火段,所述预热段和退火段内设有热源;所述工作平台内设有贯穿整个工作平台的用于传输基片的传动机构,其特征在于:所述预热段和退火段内热源的开闭交替进行。
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