[发明专利]基板烘烤装置有效
| 申请号： | 201410856601.2 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104460072B | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 方仲贤;徐涛;徐彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,刘华联 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板烘烤装置，其包括具有上盖组件的用于放置基板的腔体，上盖组件的内壁设置有抗粘附层。基板在烘烤过程中，溶剂挥发而在基板烘烤装置的腔体中产生溶剂烟雾。而通过在上盖组件的内壁设置抗粘附层，以避免或减小烟雾沉积在基板烘烤装置的上盖组件上。从而，通过这种设置的基板烘烤装置保证了被烘烤的基板的质量，避免了由烟雾沉积而造成的基板平整度差的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种基板烘烤装置，其特征在于，包括具有上盖组件的用于放置所述基板的腔体，所述上盖组件的内壁设置有抗粘附层；所述上盖组件包括顶盖和位于所述顶盖的内侧的中盖，所述中盖可拆卸式设置在所述腔体的侧壁上，所述抗粘附层构造为设置在所述中盖的内壁上的薄膜，在所述腔体的侧壁的内侧均设置有抗粘附层。
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