[发明专利]半连续多品种高纯电子级磷酸生产工艺及设备

摘要

本发明半连续多品种高纯电子级磷酸生产工艺及设备所生产的高纯电子级磷酸广泛应用于电子工业中、薄膜液晶显示器(TFT--LED)和集成电路(IC)等微电子工业中芯片的清洗和线路的蚀刻。它包括新开发的高纯电子级磷酸生产设备三台，三台设备串联在一起构成三级提纯，另有一台新开发的高效多功能溶液结晶器用来处理废液生产磷酸盐。85％的磷酸经三级提纯的晶体为本发明的产品，母液为食品级磷酸：产品经国际公认的测试仪(电感耦合等离子体发射光谱仪)测试后其纯度已超过GB/T1282-1996国标，同时也超过了美国PCC4行业标准，到目前尚未发现有超过本产品纯度的同类产品。因此，本发明的生产工艺设备所生产的产品纯度居国际首位，也填补了我国不能生产高纯电子级磷酸的空白。

主权项

图2是本发明用于生产高纯电子级磷酸的专用设备，它是由多个蜂窝式换热夹套组成的大换热面，用于冷却结晶及熔融而设计的静态熔融型重结晶设备。