[发明专利]一种真空环境下静压气体轴承的性能检测装置及其使用方法

摘要

一种真空环境下静压气体轴承的性能检测装置及其使用方法，它至少由：真空室、供气管、供气压力调节阀、加载砝码、位移传感器、承载面、支架、底座、放气阀、电阻规I、插板阀I、分子泵I、分子泵I固定架、真空室排气管I、真空室排气管II、机械泵I、隔断电磁阀I、压差阀I、分子泵II固定架、分子泵II、压差阀II、轴承排气管I、轴承排气管II、机械泵II、隔断电磁阀II、插板阀II、调平支架、轴承排气管III、静压气体轴承、电阻规II、静压气体轴承排气槽、静压气体轴承排气孔、静压气体轴承供气孔和静压气体轴承供气槽组成，本发明可以检测真空环境下不同供气压力和气膜厚度静压气体轴承的承载能力和润滑气体的泄漏量。

主权项

一种真空环境下静压气体轴承的性能检测装置，它至少由：真空室(1)、供气管(2)、供气压力调节阀(3)、加载砝码(4)、位移传感器(5)、承载面(6)、支架(7)、底座(8)、放气阀(9)、电阻规I(10)、插板阀I(11)、分子泵I(12)、分子泵I固定架(13)、真空室排气管I(14)、真空室排气管II(15)、机械泵I(16)、隔断电磁阀I(17)、压差阀I(18)、分子泵II固定架(19)、分子泵II(20)、压差阀II(21)、轴承排气管I(22)、轴承排气管II(23)、机械泵II(24)、隔断电磁阀II(25)、插板阀II(26)、调平支架(27)、轴承排气管III(28)、静压气体轴承(29)、电阻规II(30)、静压气体轴承排气槽(31)、静压气体轴承排气孔(32)、静压气体轴承供气孔(33)和静压气体轴承供气槽(34)组成，其特征在于，所述的供气压力调节阀(3)安装在供气管(2)上，供气管(2)通过静压气体轴承供气槽(34)与静压气体轴承供气孔(33)相连通，加载砝码(4)和位移传感器(5)安装在静压气体轴承(29)上，承载面(6)固定在支架(7)上，支架(7)通过调平支架(27)安装在真空室(1)内部，真空室(1)固定在底座(8)上，真空室(1)与分子泵I(12)的进气孔相连通，分子泵I(12)的排气孔与真空室排气管I(14)的一端相连通，真空室排气管I(14)的另一端与隔断电磁阀I(17)的进气口相连通，隔断电磁阀I(17)的排气孔通过真空室排气管II(15)与压差阀I(18)的进气孔相连通，压差阀I(18)的排气孔与机械泵I(16)的进气孔相连通并安装在机械泵I(16)上，机械泵I(16)固定在底座(8)上，轴承排气管III(28)的一端通过静压气体轴承排气孔(32)与静压气体轴承排气槽(31)相连通，轴承排气管III(28)的另一端与分子泵II(20)的进气孔相连通，电阻规II(30)安装在轴承排气管III(28)上，分子泵II(20)通过分子泵II固定架(19)固定在底座(8)上，插板阀II(26)安装在分子泵II(20)上，分子泵II(20)的排气口通过轴承排气管I(22)与隔断电磁阀II(25)的进气口相连通，隔断电磁阀II(25)的排气口通过轴承排气管II(23)与压差阀II(21)的进气口相连通，压差阀II(21)的排气口与机械泵II(24)的进气口相连通并安装在机械泵II(24)上，机械泵II(24)固定在底座(8)上。