[发明专利]使用转印膜的三维衬底成像在审
| 申请号： | 201410858492.8 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104749877A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | K·巴兰特拉普;R·K·巴尔;B·D·阿莫斯 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 使用转印膜的三维衬底成像。提供了一种方法，所述方法包括：a.选择性地将包括一种或多种蜡，一种或多种不含酸基的丙烯酸酯官能单体和一种或多种自由基光引发剂的抗蚀剂组合物喷墨到邻近光化辐射透明柔性膜的第一表面；b.将带有抗蚀剂组合物的光化辐射透明柔性膜施加到三维衬底的表面，带有抗蚀剂组合物的光化辐射透明柔性膜的第一表面邻近三维衬底的表面，并且光化辐射透明柔性膜跟随三维衬底的表面的轮廓；c.向与带有抗蚀剂组合物的第一表面相对的光化辐射透明柔性膜的第二表面上施加光化辐射，以固化抗蚀剂组合物；和d.将光化辐射透明柔性膜从固化的抗蚀剂组合物上分离，固化的组合物粘附到三维衬底的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 转印膜 三维 衬底 成像 | ||
【主权项】：
一种方法，所述方法包括：a.选择性地将包括一种或多种蜡，一种或多种不含酸基的丙烯酸酯官能单体和一种或多种自由基光引发剂的抗蚀剂组合物喷墨到邻近光化辐射透明柔性膜的第一表面；b.将带有抗蚀剂组合物的光化辐射透明柔性膜施加到三维衬底的表面，带有抗蚀剂组合物的光化辐射透明柔性膜的第一表面邻近三维衬底的表面，并且光化辐射透明柔性膜跟随三维衬底的表面的轮廓；c.向与带有抗蚀剂组合物的第一表面相对的光化辐射透明柔性膜的第二表面上施加光化辐射，以固化抗蚀剂组合物；和d.将光化辐射透明柔性膜从固化的抗蚀剂组合物上分离，固化的组合物粘附到三维衬底的表面上。
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