[实用新型]用于原子力显微镜的气氛控制装置有效
| 申请号： | 201420011858.3 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203688581U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 钱林茂;杨亚军;陈诚;陈磊;何洪途;王晓东 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01Q30/12 | 分类号： | G01Q30/12 |
| 代理公司： | 成都博通专利事务所 51208 | 代理人： | 陈树明 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该装置能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原子 显微镜 气氛 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。
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