[实用新型]过滤装置及金属有机化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提供一种过滤装置及金属有机化学气相沉积设备，该过滤装置包括：N个过滤器组，各过滤器组包括M个过滤器与一个开关，各过滤器组并联连接，其中，N≥2，M≥1，且N、M为整数。由于各过滤器组具有一开关且各过滤器组相互并联，使得各过滤器组相互独立，实际使用过程中，可通过开关的开启与关闭对过滤器组的工作状态进行控制，无需对整个过滤装置进行替换，而是仅通过简单的开关打开与闭合即可实现过滤器的切换，从而节约时间，降低过滤装置的更换频率，实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。

主权项

一种过滤装置，其特征在于，包括：N个过滤器组，各所述过滤器组包括M个过滤器与一个开关，各所述过滤器组并联连接，其中，N≥2，M≥1，且N、M为整数。