[实用新型]F-θ物镜有效
申请号: | 201420014576.9 | 申请日: | 2014-01-10 |
公开(公告)号: | CN203786376U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 约尔格·翁德里希 | 申请(专利权)人: | 业纳光学系统有限公司 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 德国耶拿*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本实用新型提供一种F-θ物镜,该F-θ物镜包括五个独立的透镜,第一独立的透镜L1为具有焦距f1的双凹透镜,第二独立的透镜L2为具有焦距f2的凹凸透镜,第三独立的透镜L3为具有焦距f3的凹凸透镜,第四独立的透镜L4为具有焦距f4的双凸透镜,以及第五独立的透镜L5为具有焦距f5的平凸透镜,并且该F-θ物镜的总焦距为f;其中焦距f1至f5与总焦距f之间的比率满足下列条件:-1.0<f1/f<-0.4;+3.6<f2/f<+4.2;+2.0<f3/f<2.8;+1.4<f4/f<+1.8;+2.7<f5/f<+3.1。通过该F-θ物镜对材料进行加工,可以获得均匀的毛刺形成。 | ||
搜索关键词: | 物镜 | ||
【主权项】:
一种F‑θ物镜,该F‑θ物镜包括五个独立的透镜,其特征在于,第一独立的透镜L1为具有焦距f1的双凹透镜,第二独立的透镜L2为具有焦距f2的凹凸透镜,第三独立的透镜L3为具有焦距f3的凹凸透镜,第四独立的透镜L4为具有焦距f4的双凸透镜,以及第五独立的透镜L5为具有焦距f5的平凸透镜,并且该F‑θ物镜的总焦距为f;其中焦距f1至f5与总焦距f之间的比率满足下列条件: ‑1.0<f1/f<‑0.4 +3.6<f2/f<+4.2 +2.0<f3/f<+2.8 +1.4<f4/f<+1.8 +2.7<f5/f<+3.1。
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